ዜና

የአልማዝ ሽቦ መቁረጫ ቴክኖሎጂ ማዋሃድ (ኮምፕሲንግ) ማዋሃድ ቴክኖሎጂ በመባልም ይታወቃል. የመቁረጥ ውጤት ለማሳካት የኤሌክትሮኒዝ በትር ወይም በሲሊኮንድ ገመድ ላይ የመቁረጫ ውጤት ለማምረት የሲምኮድ ሽርሽር ዘዴን በመጠቀም የአልማሮ አጭበርባሪ ዘዴ መጠቀምን ነው. የአልማዝ ሽቦ መቁረጥ ፈጣን የመቁረጥ ፍጥነት, ከፍተኛ የመቁረጥ ትክክለኛነት እና ዝቅተኛ የቁሳቁስ ኪሳራ ባህሪዎች አሉት.

በአሁኑ ጊዜ, የሲምኮን ጦርነት የሚቆረጥ የአልማዝ ሽቦ ገበያው ሙሉ በሙሉ ተቀባይነት አግኝቷል, ነገር ግን በማስተዋወቅ ሂደት ውስጥ የተካሄደውን የመግዛት ሂደት ውስጥም አግኝቷል. ከዚህ አንጻር ይህ ወረቀት የአልማዝ ሽቦን የመቁረጥ ጩኸት ዌሊኮን ዌልቪን ዌልቪን ዌልቭን ችግርን እንዴት መከላከል እንደሚቻል ላይ ያተኩራል.

የአልማዝ ሽቦ ዥረት ዲስክ የፅዳት ሂደት የጉዳይ መሣሪያን ከ Sheinin Shee Power Chece የተቆራኘውን የሲሊኮን ወጭ መቆረጥ ነው, የጎማውን ፍሰት ያስወግዱ እና የሲሊኮን ዋሻን ያስወግዱ. የጽዳት መሣሪያዎች በዋነኝነት ቅድመ-የጽዳት ማሽን (የመግቢያ ማሽን) እና የጽዳት ማሽን ነው. የቅድመ ንፅህና ማሽን ዋና የማፅጃ ሂደት-የመረጫ-ትክትክ-የአልትራሳውንድ-የንጹህ ውሃ ማጽጃ-ማጽደቅ - የበታች የውሃ ማቆሚያ. የጽዳት ማሽን ዋና የማፅጃ ሂደት የአልካላይ የውሃ ማጠቢያ-alkali የውሃ ማጠቢያ ገፅታ - ፅንሶ ማጠቢያ-ፅንስ የውሃ ማጠቢያ ገንዳ-የዘገየ የውሃ ማጠቢያ ገንዳ (ማራዘም ፍጥነት)

የነጠላ-ክሪስታል vel ል vet ት መስራት መርህ

ሞኖክኪስሊን ሲሊኮን ፉርስ ​​የዊኪክሪፕትስሊን የሲቪክቶሊን ቂጣነት anyootrociprical በሽታ ባሕርይ ነው. የምላሽ መርህ የሚከተለው ኬሚካዊ ምላሽ እኩልታ ነው-

Si + · ophoh + h2o = Na2sio3 + 2h2 ↑

በመሠረቱ, የሱድ ፎርሜሽን ሂደት ከ (1001), ከ (1001) የጠፋው የመሬት ወለል ፍጥነት, (100) የጠፋው የጠፋ ወለል (100) ወደ ሞኖክሪኮን ፍሰት, በመጨረሻም ወደ መሬት ላይ ተፈጠረ (111) ባለአራት ጎን አጠገብ "ፒራሚድ" አወቃቀር (በስእል 1 እንደሚታየው). አወቃቀሩ ከተገነባ በኋላ አንድ ሁለተኛ ወይም ተጨማሪ የመጠጣትን ስሜት በመፍጠር መብራቱ በተንሸራታች አቅጣጫ ላይ አንግል በሚያንጸባርቅበት ጊዜ ብርሃኑ ይንፀባርቃል, ስለሆነም በሲሊኮን ዋሻ ወለል ላይ ያለውን አንፀባራቂነት ይቀንሳል , ያ ቀላል የመዞሪያ ውጤት ውጤት (ስእል 2 ን ይመልከቱ). የ "ፒራሚድ" አወቃቀር መጠን, በጣም ግልፅ የሆነ የማድረጉ ውጤት እና የሲሊኮን ዋሻ የታችኛው ክፍል ነው.

ስእል 1; የአልካላይ ምርት ማይክሮፎንሊንሊን ሲሊኮንሪድ ማይክሮፎን

ስእል 2; "ፒራሚድ" አወቃቀር ቀላል የመዞሪያ መርህ

የነጠላ ክሪስታል ሹክሹክታ ትንታኔ

በነጭ ሲሊኮን ዋስትና ላይ የኤሌክትሮኒን ማይክሮስኮፕ በመቃኘት በአከባቢው የነጭ ዎሪንግ የተቋቋመው የፒራሚድ ተሟጋች የመሬት ሽፋን ተብሎ ያልተቋቋመ ነው, እና ወለል የ "ሰሚ" አወቃቀር የሚመስል ነበር, በተመሳሳዩ የሲሊኮን ጦርነት ውስጥ በሚገኘው ነጭ አካባቢ በጥሩ ሁኔታ የተሠራ (ምስል 3 ን ይመልከቱ). በ Mon ሎክሪሊንሊን ወርድ ላይ ያሉ ቀሪ ከሆኑ, ወለል ቀሪ ቦታ እና ውርደት የመኖሪያ አሰልጣኝ አሠራር መጠን እና ውርደት ያለው የ vel ል vet ት የወጣዊ ስሜት ከመደበኛ አካባቢው ከፍ ያለ ነው, ከ በእይታ በተነደለው የመደበኛ ሁኔታ ጋር ሲነፀው ከከፍተኛ አንፀባራቂ ሁኔታ ጋር ሲነፃፀር ከፍተኛ ማንጸባረቅ. ከሚሰራው የመሰራጨት ቅርፅ እንደሚታየው, በትላልቅ ቦታ ውስጥ መደበኛ ወይም መደበኛ ቅርፅ አይደለም, ግን በአካባቢያዊ አካባቢዎች ውስጥ ብቻ. የሲሊኮን ቄስ ወለል ላይ የአከባቢው ብክለት አልተጸዳም, ወይም የሲሊኮን ስርጭቱ የሲሊኮን ጦርነት የሚከሰተው በሁለተኛ ብክለት ምክንያት ነው.

ስእል 3; በ vel ል vet ት ነጭ ሲሊኮንባር ውስጥ የክልል ጥቃቅን ጥቃቅን ጥቃቅን ልዩነቶች ማነፃፀር

የሲምኮድ ሽቦው የመቁረጫ ወለል ይበልጥ ለስላሳ ነው እና ጉዳቱ አነስተኛ ነው (በስእል 4 እንደሚታየው). ከሞርካን ሲሊኮን ዋሻ ጋር ሲነፃፀር የአልካሊስታን እና የአልማዝ ሽቦ የተሸፈነ የሲሚሊንግስ ፉርኮን ስርጭቱ ዝቅተኛ ነው, ስለሆነም በ vel ል vet ት ውጤት ላይ የሚደርሱበት ተጽዕኖ ግልጽ ነው.

ስእል 4; (ሀ) የባህር ኃይል ማይክሮግራፍ የተቆራረጠ የሲምኮን ዋሻ (ቢ) የአልማዝ ሽቦ ማይክሮኮን ማይክሮኮን ማይክሮግራፍ

ዋና ቀሪ የሎማ አበባ ሽቦ የተቆራረጠው የሲምቦር ሽፋን

(1) ማቀዝቀዣ-የአልማዝ ሽቦ መቁረጫ መቁረጫ ዋና ዋና አካላት አሳቢ, መበታተን, የማይናወጥ, ውሃ እና ሌሎች አካላት ናቸው. በጥሩ አፈፃፀም ያለው ፈሳሽ ጥሩ አፈፃፀም, መበ-ተበታተኑ እና ቀላል የጽዳት ችሎታ አለው. ከሲሊኮን የባንጢር ማጽጃ ሂደት ውስጥ ብዙውን ጊዜ የተሻሉ የሃይድሮፊሊካዊ ባህሪዎች አሏቸው. የውሃው ተጨማሪዎች ቀጣይነት ያለው እና ስርጭት ማቀዝቀዝ እና በማቀዝቀዝ አፈፃፀም እና በአሳማው አረፋ ችግሮች ላይ የሚነካ የመቀዘቀዙ ፍሰት ቀንሷል, ይህም አጠቃቀሙን በአሳዛኝ ሁኔታ ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል. ስለዚህ, ቀሚሱ ብዙውን ጊዜ ከምድር አመታዊ ወኪል ጋር ጥቅም ላይ ይውላል. የመጥመቂያ አፈፃፀም ለማረጋገጥ ባህላዊው ሲሊኮን እና ፖሊቲዘር ብዙውን ጊዜ ድሃ የሃይድሮፊሊክስ ናቸው. የውሃው ውሃው ለአድማስ በጣም ቀላል ነው እና በቀጣይ ፅዳት ላይ በሚገኘው የሲሊኮን ዋሻ ወለል ላይ ይቆያል, በዚህም የነጭ ቦታ ችግር ያስከትላል. እና በጥቅሉ ዋና ዋና ዋና ክፍሎች ጋር በጥሩ ሁኔታ ተኳሃኝ አይደለም, ስለሆነም, በአደጋው ​​ሁኔታ ላይ በተቻለው ሁኔታ ላይ ሊቆጣጠኑ አለመቻላቸውን ባለመቻላቸው ዋና ዋና ዋና ክፍሎች እና የምርጫ ወኪሎች በውሃ ውስጥ መታጠፍ አለባቸው የፀረ-አዕምሮዎች ወኪሎች አጠቃቀም እና መጠን, ወደ ሲሊኮን ወኪሎች እንዲጨምሩ ለማድረግ, ወደ ሲሊኮን ወኪሎች ጭማሪዎች በቀላሉ ሊፈቅድላቸው ይችላሉ, ሆኖም ግን, በተበላሸ የእቃ እቃዎች እና የመማሪያ ወኪል ወኪል አነስተኛ ዋጋ ምክንያት ነው እቃዎች, አብዛኛዎቹ የቤት ውስጥ ቅዝቃዜ ሁሉ ይህንን ቀመር ስርዓት ይጠቀማሉ, ሌላው ቀሪነት አዲስ የብረታ ክፍልን ይጠቀማል, ተጨማሪዎች ከልክ በላይ ጥቅም ላይ ሊውል አይችልም, ውጤታማ አጠቃቀምን, መልመጃዎች በተገቢው የጽዳት ሂደት ውስጥ እንዲሁ ማድረጉ በጣም ምቹ ነው, እሱ ቀሪዎቹ በጣም ዝቅተኛ በሆነ ደረጃ ሊቆጣጠሩት ይችላሉ, በጃፓን እና ጥቂት ቀመር ያላቸው የአገሬው አምራቾች በከፍተኛ ጥሬ እቃው ወጪ ምክንያት ዋጋው ግልፅ አይደለም.

(2) ብልጭታ እና ቅጠል ስሪት: - የአልማዝ ሽቦ መቁረጫ የኋለኛው ዘመን ውስጥ በኋለኛው ዘመን ውስጥ የሲሊኮን ዋስትና በቅድሚያ ተዘርግቶ ነበር, ገና ተዘርግቷል, ቀደም ሲል አልማዝ የሲሊኮን ሮድ ሙጫ እና የ Sheino ቦርዱ ሁለቱም የማሳለፊያ ነጥብ ወይም የመቀየሪያ ነጥብ ስለሆኑ የጎማ ሽፋን እና የመዝጋት ሰሌዳውን መቆረጥ ጀምሯል. ፕላኔት ዝቅተኛ ነው, በመቁረጫ ሂሳቡ ወቅት በቀላሉ እንዲሞቁ እና ለስላሳ እና ሲሊኮን የሲምኮን ስርጭቱ የመቁረጥ ችሎታ መቀነስ ወይም የሲሊኮን ወራሾች የተቀበሉት እና ከ SENO ጋር የተቆራረጠ, አንዴ መታጠብ በጣም ከባድ ነው እንደዚህ ዓይነቱ ብክለት በሲሊኮን ዋሻ ጠርዝ አቅራቢያ የሚከሰተው.

(3) ሲሊኮን ዱቄት: - አልማዝ ሽቦው ሂደት ውስጥ ብዙ የሲንኮን ዱቄት በማቅረቢያው ብዙ እና ከፍ ያለ የሲሊኮን ዱቄት እና ከፍ ያለ ሲሆን የሲርኪንግ ዱቄት በሚሆንበት ጊዜ የሲሊከን ወለል ላይ ነው, የሲሊኮን ዱቄት መጠን እና መጠን የሲሊኮን ዱቄት መቆረጥ እና መጠን በሲሊኮን ወለል ላይ ለአድማኒነት ወደ alformation ይሄዳል, ለማፅዳት አስቸጋሪ ያደርገዋል. ስለዚህ የቀዘቀዘውን ዝመና እና ጥራት በቅደም ተከተል የዱቄት ይዘትዎን ያረጋግጡ.

(4) የማፅዳት ወኪል: - አብዛኛውን ጊዜ የአልማዝ ገመድ የመቁረጫ ምርታማነት ያላቸው የአበባ መቁጠሪያዎች አጠቃቀም, በአብዛኛው የንብረት መቆረጥ, የፅዳት ሂደት እና የፅዳት ወኪል ወዘተ, ወዘተ. የተሟላ የመስመር ስብስብ, የቀዘቀዘ እና የድንጋይ ንጣፍ መቁረጥ ትልቅ ልዩነት አለው, ስለሆነም ተጓዳኝ የጽዳት ሂደት, የጽዳት ወኪል መጠን, ቀመር ተጓዳኝ ማስተካከያውን ያካሂዱ መሆን አለበት. የፅዳት ወኪል አስፈላጊ ገጽታ ነው, የመጀመሪያው የጽዳት ወኪል ቀመር የሲምኮን ዋሻን የመቁረጥ የአልማዝ ገመድ ዋሻን የመቁረጥ, የ CAMCICEAD WARFE, የጽዳት ፅዳት ዋሻ, የጽዳት ፅዳት ዋሻ, የመጠጥ ፅዳት ወኪል, እና ከያዙት ጋር የመዋቢያነት የጽዳት ሂደት. ከላይ እንደተጠቀሰው, የደንበኞች ማቀነባበሪያ ስብጥር በረንዳ መቁረጥ ውስጥ አያስፈልግም.

(5) ውሃ: የአልማዝ ሽቦ መቁረጥ, ቅድመ ማጠብ, ማጽዳት እና የውሃ ፍሰት ውሃ ማጽዳት ሥራዎችን ይ contains ል, ወደ ሲሊኮን ዋሻ ወለል ላይ ሊታገድ ይችላል.

የ vel ል vet ት ፀጉር ነጭ የመመስረት ችግርን ይቀንሱ

(1) በጥሩ መተላለፊያዎች ላይ ቅሪቱን ለመጠቀም, እና ቀሪውን የሲሊኮን ዋሻ ወለል ላይ የቀሪውን አካላትን ቅሪቶች ለመቀነስ በዝቅተኛ የመራቢያ ወኪል እንዲጠቀሙ ይጠየቃል,

(2) የሲሊኮን ዋሻን ብክለት ለመቀነስ ተስማሚ ሙጫ እና ዳግም ማስነሳት ይጠቀሙ.

(3) ጥቅም ላይ የዋለው ውሃ ውስጥ ቀላል ቀሪ ያልሆኑ እብጠት አለመኖራቸውን ለማረጋገጥ ቅዝቃዛው በንጹህ ውሃ ይደባለቃል.

(4) ለአልማዝ ሽቦ ሽቦ የተቆራረጠ የሊምኮድ ዋሻ ወለል, እንቅስቃሴ እና የፅዳት ውጤት የበለጠ ተስማሚ የጽዳት ወኪል;

(5) የሲንኮን ዱቄት በመርከቡ ሂደት ውስጥ የሲንኮን ዱቄት የሚቆጣጠረውን የሲንኮን ዱቄት በሚቆጠርበት ጊዜ የሲሊኮን ዱቄት የመርከብ ሥራን ለመቀነስ የመስመር ላይ መልሶ ማገገሚያ ስርዓት ይጠቀሙ. በተመሳሳይ ጊዜ, የሲሊኮን ዱቄት በወቅቱ መታጠቡ መሆኑን ለማረጋገጥ በቅድመ መታጠቢያ ውስጥ የውሃ ሙቀት እና ጊዜ መሻሻል ሊጨምር ይችላል

(6) የሲሊኮን ዋስትና በማፅዳት ሰንጠረዥ ላይ ከተደረገ በኋላ ወዲያውኑ መታከም አለበት, እና በጽዳት ማጽጃ ሂደት ውስጥ የሲሊኮን ጦርነት እርጥብ መያዝ አለበት.

(7) ሲሊኮን ፉር ደፋው እርጥብ በሆነው ሂደት ውስጥ መሬትን በመግባት እና በተፈጥሮው ደረቅ አይሆንም. (8) በሲሊኮን ዋሻ ውስጥ የንፅህና ዋነኛው ሂደት, በአየር ውስጥ የተጋለጠው የአበባው ምርት በሲሊኮን ዋሻ ወለል ላይ ያለውን የአበባው ምርት ለመከላከል እስከሚችል ድረስ ሊቀንስ ይችላል.

(9) የፅዳት ሠራተኞች በጠቅላላው የጽዳት አሻራ ማተም ወቅት የሲሊኮን ዋሻን በቀጥታ የሲሊኮን ዋሻን በቀጥታ አያነጋግሩም.

(10) በማብራሪያ (2) በባቢሉ መጨረሻ የቦሪሮጂን ፔሮክሳይድ ኤች 2ዮ + alkali ናጽሃን ፅንሰ-ጥምር ሂደቱን በ 1:26 (3% ናንክ መፍትሄ) መሠረት. ዋናው መርህ ከ SCA1 የጽዳት ማቆሚያ መፍትሔ ጋር ተመሳሳይ ነው (በተለምዶ አንድ ሴሚኮንድዌተር ሲሊኮን የሚጠራው. ዋናው ዘዴ: - በሲሊኮን ስርጭቱ ላይ ያለው የኦክሳይድ ፊልም በ <ናኦ> ላይ በተሰራው በ H2O2 ኦክሳይድ ውስጥ የተቋቋመ ሲሆን ኦክሳይድ እና ብሬሽዮን ደጋግሞ ይከሰታል. ስለዚህ ከሲሊኮን ዱቄት, ከሽረት, ከብረት, ወዘተ የተቆራኙ ቅንጣቶች) በተጨማሪም ከቆርቆሮ ማጽጃ ፈሳሽ ጋር ይወድቃሉ, በ H2O2 ኦክሳይድ ምክንያት, በባህሩ ወለል ላይ ኦርጋኒክ ጉዳይ ወደ CO2, H2O በመበተን እና ተወግ .ል. ይህ የማፅጃ ሂደት heonon ornodrine Colorinine willord, የሊምኪንግ ፉርኮን እና ሌሎች የባትሪ አምራቾች ማጽጃን ለማካሄድ ዌሊኪን እና ሌሎች የባትሪ አምራቾች ስብስብ የ Vel ል vet ት ዋና ችግር ቅሬታዎችን ይጠቀማል. እንዲሁም የባትሪ አምራቾች ተመሳሳይ የ vel ል vet ት የቅድመ-ጽዳት ሂደት ሲጠቀሙ, የ vel ል vet ት ነጭውን በብቃት በትክክል ይቆጣጠራሉ. ይህ የጽዳት ሂደት በሪሊው መጨረሻ ላይ የነጭ ፀጉር ችግርን በትክክል ለመፍታት ሲሊኮን በሚበቅል ስርጭት ውስጥ እንደሚታየው ሊታይ ይችላል.

ማጠቃለያ

በአሁኑ ጊዜ የአልማዝ ሽቦ መቁረጫ በሚያስደንቅ የሊማ እርከኖች መስክ ውስጥ ዋና የማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ ሆኗል, ወደ ባትሪ አምራቾች የሚመራው ሲሊኮድ ወደሚገኘው የሪማዝ አምራቾች የሚመራው ነው ዋሻ የተወሰነ የመቋቋም ችሎታ አለው. የነጭውን ቦታ ንፅፅር በማነፃፀር በዋነኝነት የሚከሰተው በዋነኝነት የሚከሰተው በሲሊኮን ዋሻ ወለል ላይ ነው. In order to better prevent the problem of silicon wafer in the cell, this paper analyzes the possible sources of surface pollution of silicon wafer, as well as the improvement suggestions and measures in production. እንደ ነጭ ነጠብጣቦች ብዛት, ክልል እና ቅርፅ መሠረት መንስኤዎች ሊተነተኑ እና ሊሻሻሉ ይችላሉ. በተለይም የሃይድሮጂን ፔሮክሳይድ + የአልካሊ ማጽጃ ሂደት እንዲጠቀም ይመከራል. የአሊምቦር ሽቦ ሽርሽር የሊምኮዝ ሽቦ ማሰማት Vel ልቦን ሽርሽር ዌልቭን ማጎልበት ችግርን ውጤታማ በሆነ መንገድ መከላከል እንደሚችል ያረጋግጣል.